干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內(nèi)無油或其它的介質(zhì)，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近機械真空泵。

在真空泵行業(yè)，目前大多數(shù)真空泵都是用油跟水以及其它聚合物充當(dāng)泵的介質(zhì)，它們的主要作用是潤滑、冷卻和密封。但是真空泵以及組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了以下亟待解決的問題：1、泵的工作介質(zhì)反流污染被抽的容器，最直接的后果就是會影響產(chǎn)品質(zhì)量，增加泵的后期維護的成本；2、在工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使得泵內(nèi)的介質(zhì)變質(zhì)，從而導(dǎo)致泵體無法正常工作。這是目前面臨的兩個主要問題。

使用干式真空泵可以達到非常好的效果，那么干式真空泵的應(yīng)用范圍有哪些方面呢，下面就重點介紹一下它的應(yīng)用范圍：

（1）干式真空泵適合用于化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止有機溶劑造成污染；

（2）低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝；

（3）半導(dǎo)體的刻蝕工藝，這些生產(chǎn)工藝往往用到腐蝕性氣體和研磨微粒；

（4）除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝，在這些工藝中，不希望微粒混入油泵中，而是排出泵外，用干式真空泵可以解決；

（5）用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵，以防止油污染。