干式真空泵是指泵能從大氣壓力下開始抽氣，又能將被抽氣體直接排到大氣中去，泵腔內無油或其它的介質，而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級或者接近機械真空泵。

在真空泵行業，目前大多數真空泵都是用油跟水以及其它聚合物充當泵的介質，它們的主要作用是潤滑、冷卻和密封。但是真空泵以及組成的抽氣系統出現了以下亟待解決的問題：1、泵的工作介質反流污染被抽的容器，最直接的后果就是會影響產品質量，增加泵的后期維護的成本；2、在工藝過程中的反應物質使得泵內的介質變質，從而導致泵體無法正常工作。這是目前面臨的兩個主要問題。

使用干式真空泵可以達到非常好的效果，那么干式真空泵的應用范圍有哪些方面呢，下面就重點介紹一下它的應用范圍：

（1）干式真空泵適合用于化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，防止有機溶劑造成污染；

（2）低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝；

（3）半導體的刻蝕工藝，這些生產工藝往往用到腐蝕性氣體和研磨微粒；

（4）除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝，在這些工藝中，不希望微粒混入油泵中，而是排出泵外，用干式真空泵可以解決；

（5）用做一般無油清潔真空系統的前級泵，以防止油污染。